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螺杆式无油干式机械真空泵原理及简介

编辑:上海耀全机电设备有限公司  时间:2019-12-24

只有螺杆***末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度,以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时,要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境(如抽除含粉尘气体等)等。该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。    

        泵是立式结构,进气口在上方,排气口在中部,下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形,为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接。该泵的气体路径较短,且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却,泵维修也便利。   

 

        这种类型的泵如果选用适当的较简单螺杆牙型截面,则制造简单,可保证很高的加工精度,且容易动平衡。

例如,在目前微电子学及其纳米级电子材料和元器件的发展中。对真空系统不仅要求采用高真空、超高真空和真空气氛清洁无油,而且要求耐腐蚀、耐粉尘 。 为了适应这些要求,在真空获得设备中制造各种于式泵、耐腐蚀泵,进一步发展磁悬浮式分子泵和能够避免强磁场及等离子体对涡输分子泵金属转子产生涡流发 热的用陶瓷做成转子的新型分子泵,是很必要的。在真空测量方面,我国与国外也存在较大的差距,主要表现在真空规管的结构,电子线路的设计,集成电路和自动换挡及数字显示等新技术的采用上。因此尽快的改变我国真空测量仪器的现状,促进这一技术向多用化、自动化及体积小、外形美等方面发展,也是一个重要的问题。此外,追赶当前国际上在极高真空测量和特殊条件下的真空测量颈域中的先进水平、也是我国真空工作者一项责无旁贷的艰巨任务。